水冷機構53包括水冷管531和循環水路，所述水冷管531纏繞于所述處理室11外側，所述循環水路一端與所述水冷管531連接，另一端與外部水源連接，通過水泵將循環水路的循環水通入水冷管，所述溫度控制裝置與水泵電連接，配合感溫線智能對箱體內部進行冷卻。

40.所述電氣控制柜4包括泄真空控制器41和充氮控制器42，所述泄真空控制器41與所述抽氣機構2電連接，所述泄真空控制器41用于控制箱體1的泄真空作業，所述充氮控制器42與所述加壓充氣機構3電連接，所述充氮控制器42用于控制箱體1內的充氮作業；本實施例中所述泄真空控制器包括手動泄真空旋鈕411和自動泄真空旋鈕412，分別實現泄真空的手動操作和自動操作；所述手動泄真空旋鈕411和所述自動泄真空旋鈕412均與所述真空泵電連接。

臺灣油升YEOSHE齒輪泵HGP-05A-F-03-R-X   HGP-05A-L-03-R-X    HGP-05A-F-03-L-X    HGP-05A-L-03-LX

臺灣油升YEOSHE齒輪泵HGP-05A-F-05-R-X   HGP-05A-L-05-R-X    HGP-05A-F-05-L-X    HGP-05A-L-05-LX

臺灣油升YEOSHE齒輪泵HGP-05A-F-08-R-X   HGP-05A-L-08-R-X    HGP-05A-F-08-L-X    HGP-05A-L-08-LX

臺灣油升YEOSHE齒輪泵HGP-05A-F-11-R-X   HGP-05A-L-11-R-X    HGP-05A-F-11-L-X    HGP-05A-L-11-LX

臺灣油升YEOSHE葉片泵：

1：VHO-F-08葉片泵、VHO-F-12葉片泵、VHO-F-15葉片泵、VHO-F-20葉片泵

2：VHI-F-30、VHI-F-40、VHI-F-40-A2 、VHI-F-30-A3

3：AHPF-30、AHPF-40、VR15-70、VR20-70、VR30-70、VR40-70

4：VP-15F-A3、VP-15-F/A1、VP-20F-A3、VP-20-F/A2、VP-30F-A3

5：VP-30-F/A3、VP-40F-A3、VP-40-F/A3、NVP-30-F/A2、NVP-40-F/A3 

6：VDP-15-70-60、VDP-20-70-60、VDP-SF-12、VDP-SF-20、VDP-SF-30-D

7：VDP-SF-40-D、VDP-SF-30-C、VDP-SF-40-B

8：VPC-FB-20、VPC-FB-30、VPC-FB-40、VPC-30-F-A1、VPC-30-F-A2

9：VPC-30-F-A3、VPC-40-F-A1、VPC-40-F-A2、VPC-40-F-A3、

41.所述箱體1一側設置有控制面板6，所述控制面板6分別與所述抽氣機構2、加壓充氣機構3和溫度控制機構5電連接，分別用于控制各個階段的作業。

42.所述箱體1頂端設置有三色燈7，所示三色燈7與所述控制面板6電連接，所述三色燈7用于展示裝置的工作狀態，當三色燈顯示紅色時，處于工作狀態，表示可以不能開啟機械式密封門，當顯示綠色時，說明裝置處于靜止狀態，可以打開箱門，當顯示黃色時，說明裝置正處于泄壓狀態。