智能光罩清盒洗機是一種專門用于光罩清洗的設(shè)備，它可以將光罩表面的雜質(zhì)、污漬、塵埃等清除干凈，從而提高光刻的精度和穩(wěn)定性。它通常由多個部分組成，包括清洗液、噴頭、清洗室、水槽、控制系統(tǒng)等。

智能光罩盒清洗機的核心部分之一，它的質(zhì)量直接影響到清洗效果的好壞。目前市面上的清洗液通常有兩種，一種是酸堿中和型清洗液，另一種是超純水。酸堿中和型清洗液一般用來清洗普通的光罩，它可以有效去除污漬和雜質(zhì)，但對于一些更為      復(fù)雜的污漬和有機物則效果不太好；而超純水則完全去除不了污漬和雜質(zhì)，但對于一些*為純凈的光罩則效果**。

智能光罩盒清洗機噴頭是光罩清洗設(shè)備的另一個重要部分，主要負責(zé)將清洗液噴灑在光罩表面，并收集清洗后的雜質(zhì)和污漬。噴頭的設(shè)計要盡可能的精細，以確保清洗液均勻噴灑在光罩表面，從而避免造成清洗不均勻的問題。噴頭也要能夠快速地切換不同的清洗液，以便于應(yīng)對不同種類的光罩。

智能光罩盒清洗機清洗室和水槽則負責(zé)容納光罩和清洗液，防止污染和外界干擾。清洗室通常是一個封閉的空間，也要具備排氣和通風(fēng)的功能，以避免清洗液蒸發(fā)或者滯留在室內(nèi)。水槽則用來容納清洗液，也要能夠進行循環(huán)、過濾和再生，以延長其使用壽命。

智能光罩盒清洗機控制系統(tǒng)是光罩清洗設(shè)備的*后一個組成部分，它主要負責(zé)監(jiān)控和控制整個清洗過程。控制系統(tǒng)通常包括多個傳感器、計時器、液位計等，可以自動調(diào)節(jié)清洗液的噴射壓力、濃度和溫度，從而確保清洗的穩(wěn)定性和效率。

光罩清洗設(shè)備是光刻行業(yè)中的一款重要設(shè)備，它可以提高光刻的精度和效率，也節(jié)省了人力和物力成本。隨著科技的不斷進步，光罩清洗設(shè)備也在不斷地改進和升級，以適應(yīng)不同種類的光罩清洗需要。

智能光罩盒清洗機應(yīng)用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；
觸控人機搭配PLC的軟件控制，對各制程步驟進行參數(shù)控制；
使用無刷式馬達控制系統(tǒng)，轉(zhuǎn)速*高可達3000rpm，轉(zhuǎn)速精度2rpm；
化學(xué)品擺臂清洗系統(tǒng)；
HVS擺臂清洗系統(tǒng)；
DI Water正/背面清洗系統(tǒng)；
智能光罩盒清洗機高轉(zhuǎn)速旋干系統(tǒng);