單價: | 面議 |
發貨期限: | 自買家付款之日起 天內發貨 |
所在地: | 福建 廈門 |
有效期至: | 長期有效 |
發布時間: | 2023-12-13 22:36 |
最后更新: | 2023-12-13 22:36 |
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INFICON HP100氣體分析儀基于自等離子體光發射光譜技術(SPOES),旨在提供半導體制造過程中的實時泄漏檢測、端點檢測和過程監控。 HP100具有出色的靈敏度,外形緊湊,提供寬廣的操作壓力范圍,無需昂貴的泵,非常適合大多數半導體工具的過程監控和保護。
特點氬氣的操作范圍為1 Torr - 450 Torr,氮氣的操作范圍為1 Torr - 120 Torr(其他氣體種類則有所不同)
低檢測限規格
操作壓力 | 1 Torr - 450 Torr (取決于應用) |
光譜儀性能 | 200至850納米波長(紫外-可見光) 16位全尺度分辨率,3648像素 |
檢測極限 | < 1 ppm (取決于應用) |
曝光時間 | 少1毫秒 |
真空配件 | KF25 |