高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。